半导体产业

半导体制造涉及高纯气体、特殊气体、化学品及多种制程流体,设备内部管路密集且制程条件严格,因此对零部件的洁净度、密封性能、尺寸精度及连接可靠性有较高要求。
JPE沅亨针对半导体与精密流体应用,提供VMS金属垫片面密封接头、微型焊接头、卡套接头、针阀、阀组及过滤器等产品,可应用于设备内部气体与流体管路、仪表控制及厂务相关系统。通过不同连接形式与产品规格,回应设备小型化、高集成度及多样化管路配置需求。
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